投资机构：上海创业投资有限公司  上海浦东科技投资有限公司  美国华登国际投资集团  光速创业投资中国有限公司  高盛集团  红点投资  Global Catalyst Partners, LP  InterWest Partners  

 
2008年10月，中微半导体融资5800万美元，新投资者有上海创投，浦东科投。原有投资方也参与了这轮投资，包括：华登国际，光速创投，高盛集团，红点投资，Catalyst，中西部合伙人，湾区合伙人，以及美国科天等。

    中微半导体设备（上海）有限公司是一家致力于高真空半导体制程设备的研发、生产、销售及服务一体化的高科技创业公司。是首家专为中国和亚洲半导体产业开发加工亚微米及纳米级大规模集成线路关键设备的公司。该公司关于化学汽相沉积和等离子体蚀刻的产品，受到上海市政府及工业园区的支持，并在浦东张江高科技园区建立了研发中心。